SETO 1.60 Фотохромды линза SHMC

1) Айналмалы жабын дегеніміз не?

Айналдыру жабыны - тегіс негіздерге біркелкі жұқа қабыршақтарды салу үшін қолданылатын процедура.Әдетте төменгі жылдамдықпен айналатын немесе мүлде айналмайтын субстраттың ортасына жабын материалының аз мөлшері қолданылады.Содан кейін жабын материалын орталықтан тепкіш күшпен тарату үшін субстрат 10 000 айн / мин жылдамдықпен айналады.Айналдыру жабыны үшін қолданылатын машина айналдырғыш немесе жай спиннер деп аталады.
Сұйықтық субстраттың жиектерінен шығып жатқанда, пленканың қажетті қалыңдығына жеткенше айналдыру жалғасады.Қолданылатын еріткіш әдетте ұшпа болады және бір уақытта буланып кетеді.Айналудың бұрыштық жылдамдығы неғұрлым жоғары болса, пленка соғұрлым жұқа болады.Қабықшаның қалыңдығы ерітіндінің және еріткіштің тұтқырлығы мен концентрациясына да байланысты.[2]Айналдыру жабынының алғашқы теориялық талдауын Эмсли және т.б. жүргізді және оны көптеген кейінгі авторлар кеңейтті (соның ішінде иіру жабыныдағы таралу жылдамдығын зерттеген Уилсон және т.б. [4]; және Данглад-Флорес және т.б., [5] тұндырылған пленка қалыңдығын болжау үшін әмбебап сипаттаманы тапқан).
Айналдыру жабыны золь-гель прекурсорларын пайдалана отырып, шыны немесе монокристалды субстраттардағы функционалдық тотық қабаттарының микрофабрикасында кеңінен қолданылады, мұнда оны наноөлшемді қалыңдықтағы біркелкі жұқа пленкаларды жасауға пайдалануға болады.[6]Ол фотолитографияда, қалыңдығы шамамен 1 микрометр фоторезисттік қабаттарды қою үшін қарқынды түрде қолданылады.Фоторезист әдетте секундына 20-дан 80-ге дейін айналыммен 30-дан 60 секундқа дейін айналады.Ол сонымен қатар полимерлерден жасалған жазық фотонды құрылымдарды жасау үшін кеңінен қолданылады.
Жұқа қабықшаларды айналдырудың бір артықшылығы пленка қалыңдығының біркелкілігі болып табылады.Өздігінен тегістеу арқасында қалыңдығы 1% -дан аспайды.Дегенмен, полимерлердің және фоторезисттердің қалың қабықшаларын айналдыру жабындары физикалық шектеулері бар салыстырмалы түрде үлкен жиектерге әкелуі мүмкін.